一（yī）、 產品（pǐn）描（miáo）述

　　SuperView W1光（guāng）學3D表麵輪（lún）廓（kuò）儀是一款用（yòng）於對各種精密器件及材（cái）料表麵進行亞納米（mǐ）級測量的檢測（cè）儀器。它是以白光幹涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法（fǎ）等對器件表麵進行非（fēi）接觸式（shì）掃描並建立表麵3D圖像（xiàng），通過係統軟件對器件表（biǎo）麵3D圖像進行數據處（chù）理與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形（xíng）貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於（yú）半導體製造及（jí）封（fēng）裝工藝檢測、3C電子玻（bō）璃屏及其（qí）精密配件、光學（xué）加工、微納材料（liào）及（jí）製（zhì）造（zào）、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國（guó）防軍工、科研院所等（děng）領（lǐng）域中。可測各類從超光滑到（dào）粗糙、低反（fǎn）射率到高反射率的物體（tǐ）表麵，從（cóng）納米到微（wēi）米級別（bié）工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依（yī）據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘（yú）種2D、3D參數（shù）作為評價標準。

二（èr）、產品（pǐn）功（gōng）能

1）係統光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂直掃描幹涉（shè）模式（VSI），相（xiàng）移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）；

3）多區域自動分析：自動獲取圖案化形貌（mào）區域的三維信息（高度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統計分析功能（néng）。

4）具備各種類（lèi）型樣品表麵微觀形（xíng）貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表麵粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數（shù）十微米的級（jí）別；

6）具備校平、去除形狀、去噪（zào）、濾波等數據處理（lǐ）功能；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析（xī）、結構分析、功能分析等表麵（miàn）參數分析功能；

8）具備自動對（duì）焦、自動測量、自動多區域測量、自動拚接測量等自動化功能；

9）具（jù）備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析（xī）功（gōng）能；

10）具備word、excel等數據報表導出功能。

三、應用領域

　　對各（gè）種產品、部件（jiàn）和材料表麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵（miàn）形輪廓、表（biǎo）麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表麵形貌特征進行測量（liàng）和分析。

應用範例：

半導體.拋（pāo）光矽片、減薄矽片、晶（jīng）圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機（jī）油墨屏高度差（chà）
超精密加工.光學透鏡	精密加工.發動機葉片（piàn）
精密加工.金字塔型（xíng）金剛石磁頭	標準樣塊.單刻（kè）線台階、多刻線（xiàn）粗糙度

四、性能特色

1.高精度、高重複性

1）采用光學幹涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成（chéng）測量係統，保（bǎo）證測量精度高；

2）獨特的隔振係統，能夠有效（xiào）隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵振動噪聲和空氣中（zhōng）聲波（bō）振動噪聲，保障儀器在大部分的生（shēng）產（chǎn）車間環境中能穩定使用，獲得極高的測量重複性。

2.一體化操作的測量分析軟（ruǎn）件

1）測量與（yǔ）分析同界（jiè）麵操作，無須切換，測量數（shù）據自動統計，實現了快速批量測量（liàng）的功能；

2）可視化窗口，便（biàn）於（yú）用戶（hù）實時觀察掃描過程；

3）幾何（hé）分析、粗糙度分析（xī）、結構分析、頻率分析、功能分（fèn）析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合（hé）分（fèn）析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，並（bìng）提供數據分析與（yǔ）統計圖表功能；

5）可（kě）測依據ISO/ASME/EUR/GBT等（děng）標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄（bǐng）

　　集成X、Y、Z三個方（fāng）向位移調整功（gōng）能的操縱手柄，可快速完成載物台（tái）平移（yí）、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

 4.雙重（chóng）防撞（zhuàng）保護措施

　　除（chú）初級的軟件ZSTOP設置（zhì）Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸（zhóu）上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰（pèng）到樣品表麵時，儀器自動進入緊急停止（zhǐ）狀態，最大限度（dù）的保護（hù）儀器，降低人為操作風險（xiǎn）。

5.雙通道氣浮隔振係統

　　既可以接入客戶（hù）現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條（tiáo）件下也可穩定工作。

五、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊表（biǎo）格內圖片或文字可查看詳（xiáng）細報（bào）告數據

懇請注意：因市場發展和產品（pǐn）開發的需要（yào），本產品資料中有關內容（róng）可（kě）能會根據實際情（qíng）況隨時更新或修改，恕不另行通知（zhī），不便之處敬請諒解。